👈 فروشگاه فایل 👉

سمینار بررسی میكروپمپها و كاربرد آنها

ارتباط با ما

... دانلود ...

سمینار بررسی میكروپمپها و كاربرد آنها

تكنیك های مختلف ساخت میكرو بسیار متفاوت از تكنیك های ساختی هستند كه برای ماشین های معمولی بكار تولیدات میكرو سیستم ها و packaging میگیریم اگرچه برخی از تكنیك های ساخت سنتی و معمول را میتوان در و میكروسیستمها را نمیتوان از روشهای ساخت MEMS بكار گرفت تكنولوژی موجود جهت ساخت MEMS مورد استفاده در میكروالكترونیك جدا نمود این ارتباط نزدیك در ساخت

چكیده

در این مجموعه ، با توجه به تحقیقاتی كه تا كنون ارائه شده است ، ابتدا به معرف ی میكروپمپ ها پرداخته میشود . برای

درك بهتر مفاهیم اولیه ، میكروپمپها بر اساس روشهای مختلف راه اندازی میكروپمپ و تشریح چگونگی عمل پمپاژ

تقسیم بندی میشوند . در تقسیم بندی دیگری میكروپمپ ها بر اساس روش یكطرفه شدن جریان در آنها مورد بررسی

قرار میگیرند . با توجه به روش بكار اندازی میكروپمپ ، جریان سیال میتواند پیوسته و یا بصورت پالسی باشد . بدین

ترتیب میكروپمپ ها از این دیدگاه نیز بررسی شده و در نهایت با ارائه موارد كاربردی ، اهمیت ادامه تحقیقات در این

زمینه روشن خواهد شد .

تلاش شده است با دیدگاه ساخت نمونه ای نو ، اطلاعاتی مقدماتی در زمینه میكروپمپها گردآوری شود تا با توجه به

اهمیت فراوان و نیاز به كاربرد روزافزون میكروپمپ ها در تكنولوژی مدرن ، گامی كوچك در این امر برداشته شود .

لذا در این مجموعه به معرفی مواد مورد استفاده در ساخت میكروپمپها و بررسی خواص آنه ا نیز پرداخته میشود . سپس

packaging تكنیك های مختلف ساخت و پروسه های تولید معرفی خواهند شد . و در انتها مروری كوتاه بر

میكروپمپها خواهیم داشت .

امید است این مجموعه توجه علاقمندان را به كار در این زمینه جلب نماید ، كه در این صورت بخش بزرگی ازاهداف

برآورده شده است.

فهرست مطالب

عنوان مطالب شماره صفحه

چكیده 1

مقدمه 2

فصل اول : مروری بر تحقیقات گذشته 4

1-1 ° ) پیشینه میكروپمپها 5

2-1 ) روشهای به كار اندازی در میكروپمپها 8

3-1 ) یكسو سازی جریان سیال در میكروپمپها 18

در میكروپمپ ها 20 dosing 4-1 ) ویژگیهای

5-1 ) مروری بر میكروپمپ های جریان پیوسته 22

25 μTAS 6-1 ) میكروپمپ ها و

فصل دوم : مواد مورد استفاده در ساخت میكروپمپها 26

27 SUBSTRATES AND WAFERS (1-2

از جنس مواد فعال 28 substrate (2-2

28 SUBSTRATE 3-2 ) سیلیكون به عنوان ماده تشكیل دهنده

4-2 ) تركیبات سیلیكون 38

5-2 ) كریستالهای پیزوالكتریك 48

6-2 ) پلیمرها 50

54 PACKAGING MATERIALS (7-2

فصل سوم : پروسه های ساخت میكروپمپها 56

57 PHOTOLITHOGRAPHY (1-3

61 ION IMPLANTATION (2-3

64 DIFFUSION (3-3

فهرست مطالب

عنوان مطالب شماره صفحه

66 OXIDATION (4-3

72 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (5-3

81 PHYSICAL VAPOR DEPOSITION SPUTTERING (6-3

81 EPITAXY 7-3 ) رسوب گذاری بوسیله

8-3 ) میكروماشینكاری بالك 85

86 ETCHING (9-3

97 SURFACE MICROMACHINING (10-3

103 THE LIGA PROCESS (11-3

108 PACKAGING : فصل چهارم

مكانیكی میكروالكترونیك ها 109 packaging (1-4

میكروسیستمها 111 packaging (2-4

میكروسیستم 116 packaging 3-4 ) تقابل در

117 PACKAGING 4-4 ) تكنولوژی های ضروری در

سه بعدی 129 PACKAGING (5-4

6-4 ) مونتاژ میكروسیستمها 130

134 PACKAGING 7-4 ) انتخاب مواد برای

136 SIGNAL MAPPING AND TRANSDUCTION (8-4

فصل پنجم : بحث و نتیج هگیری 141

° بحث و نتیج هگیری 142

فهرست مطالب

عنوان مطالب شماره صفحه

فهرست منابع 143

چكیده انگلیسی 144

👇محصولات تصادفی👇

پاورپوینت جهانی شدن و توسعه و روندهای مسلط مبانی نظری پایان نامه کانون های اصلاح و تربیت پروژه کارآفرینی کارگاه تولید ظروف یکبار مصرف کاغذی پایان نامه بررسی میزان توانمندی کارکنان گمرکات استان کرمانشاه با استناد به مدل وتن و کمرون پایان نامه سرزمین اندلس